Двухосный перемещающий стол

серия XYMF

Двухосевые позиционеры серии XYMF компании Zeyou Technology — это ключевой двигательный модуль, разработанный для удовлетворения требований высокоточной позиционной настройки в сложных двумерных пространственных системах. В данной серии применена передовая технология инерциального пьезоэлектрического привода; благодаря тщательно продуманной конструкции два направления движения объединены в единый узел, что обеспечивает субнанометровое разрешение шага даже при больших рабочих ходах. Конструкция серии XYMF компактна и обладает исключительно высокой механической жёсткостью, гарантируя синхронность двухосного перемещения по осям X и Y и превосходную ортогональную точность. Встроенный высокоточный бесконтактный линейный оптический датчик позволяет реализовать полностью замкнутое управление, что обеспечивает выдающиеся характеристики повторной позиционирования и долговременную стабильность работы. Благодаря отсутствию необходимости смазки и полной совместимости с вакуумными условиями эта серия широко применяется в таких передовых областях, как контроль полупроводниковых чипов, столы подложек литографических машин, манипуляции с микроорганизмами и сверхточная сборка. Являясь ключевым компонентом для прецизионных измерений и микронанообработки, серия XYMF предоставляет научным и промышленным пользователям надёжные и стабильные решения для двумерного сверхточного управления перемещением.

Принадлежность к категории:

Консультация:

Описание продукта

Цзэюй Технологии Двухосный этап перемещения серии XYMF Это ключевой двигательный модуль, разработанный для решения задач высокоточного позиционирования в сложном двумерном пространстве. В данной серии применена передовая пьезоинерциальная технология привода; благодаря тщательно продуманной конструкции два направления движения объединены в единый узел, что обеспечивает субнанометровое разрешение шага на больших рабочих ходах. Серия XYMF отличается компактностью и чрезвычайно высокой механической жёсткостью, гарантируя синхронность движения по двум осям и превосходную ортогональную точность. В системе встроены высокоточные бесконтактные линейные масштабы, поддерживающие полностью замкнутое управление, что обеспечивает выдающиеся характеристики повторного позиционирования и долговременную стабильность работы. Благодаря отсутствию необходимости смазки и полной совместимости с вакуумными условиями эта серия широко применяется в таких передовых областях, как контроль полупроводниковых чипов, столы подложек литографических машин, манипуляции с микроорганизмами и сверхточная сборка. Являясь ключевым компонентом для прецизионных измерений и микро‑нанообработки, серия XYMF предоставляет научным и промышленным пользователям надёжные и стабильные решения для двухмерного сверхточного управления перемещением.

Основные параметры

Ведущий вал

Ось XY

Привод

Пьезоэлектрический инерционный привод

Минимальное смещение

20 nm

Материал

Алюминиевый сплав

Направляющая

Перекрёстная роликовая направляющая

Сенсорный

Линейный датчик линейного перемещения с увеличением

Серия XYMF: XYMF110-65, XYMF125-75, XYMF138-100, XYMF140-85, XYMF155-95, XYMF158-120, XYMF170-100, XYMF180-110

Нанопозиционные столы компании «ZEPTOOLS», обладая выдающимися характеристиками высокоточного позиционирования, широко применяются в таких отраслях, как полупроводниковая промышленность, прецизионная оптическая инженерия, исследование материалов, биомедицинские технологии, точная метрология и контроль, а также авиакосмическая отрасль; они глубоко поддерживают микро‑ и нано‑производство, разработку высокоточных приборов и передовые научные эксперименты, являясь ключевыми комплектующими для самых различных высокоточных устройств и исследовательских платформ.

Если в сфере тестирования полупроводников, микро‑ и нанообработки или проведения in situ‑экспериментов на электронных микроскопах вам необходимы особые решения для баланса между ходом и точностью, пожалуйста, в любое время звоните по нашему техническому телефону 400‑966‑2800 — инженеры компании «ZEPTOOLS» предоставят вам подробные консультации по выбору оборудования и разработают индивидуальные решения.

 

Рекомендуемые товары

Получить последнюю версию справочника

Наш сотрудник свяжется с вами в течение 24 часов (в рабочие дни). Если вам потребуются дополнительные услуги, пожалуйста, позвоните по телефону службы поддержки: 400-966-2800
Ocтaвить зaявky