Автоматический ступенчатый измеритель JS2000C/3000C

Полностью автоматический профилометр ступенчатого типа (зондовый профилометр)

Технология «Цзэюй»: полностью автоматический ступенчатый измеритель (зондовый профилометр) модели JS2000C/JS3000C. Данная серия представляет собой высококлассное, массово производимое оборудование для автоматизированного измерения ступеней, специально разработанное для масштабной проверки крупногабаритных пластин. Оно оснащено интеллектуальным распознаванием изображений и функциями полностью автоматического измерения, обеспечивает высокоскоростную и стабильную серийную проверку, отвечая требованиям высокой производительности производственных линий. Прибор поддерживает комплексные измерения морфологии и напряжений; его данные отличаются высокой точностью и стабильностью, а также долговременной повторяемостью. Встроенный стандартизованный коммуникационный интерфейс позволяет бесшовно интегрироваться с системами заводской автоматизации, что делает его ключевым оборудованием для высокотехнологичного производства и отечественной локализации измерительных решений в полупроводниковой отрасли.

Принадлежность к категории:

Консультация:

Описание продукта

JS2000C/JS3000C

Автоматический ступенчатый измеритель

Автоматизированный массовый измерительный прибор

Ключевое оборудование для масштабной проверки крупногабаритных пластин

>Интеллектуальная эффективность | Адаптация производственной линии

 

Технология «Цзэюй»: полностью автоматический ступенчатый измеритель (зондовый профилометр) модели JS2000C/JS3000C. Данная серия представляет собой высококлассное, массово производимое оборудование для автоматизированного измерения ступеней; оно разработано специально для масштабной проверки крупногабаритных пластин и оснащено интеллектуальным распознаванием изображений и функциями полностью автоматического измерения, обеспечивая высокоскоростную и стабильную серийную проверку, что отвечает требованиям высокой производительности производственных линий. Прибор поддерживает комплексные функции измерения рельефа и напряжений; его данные отличаются высокой точностью и стабильностью, а также долговременной повторяемостью. Оборудование оснащено стандартизированными коммуникационными интерфейсами, позволяющими бесшовно интегрироваться с системами заводской автоматизации, и является ключевым измерительным оборудованием для высокотехнологичного производства и импортозамещения в полупроводниковой отрасли.

 

Основные технические параметры

Полный ассортимент — выбирайте шагомер, который вам по душе.

Модель продукта

JS10C

JS100C / 200C / 300C

JS2000C / 3000C

Степень автоматизации

Ручная версия

Полуавтоматическая версия

Полностью автоматическая версия

Размеры пластин

6 дюймов

6 / 8 / 12 дюймов

8 / 12 дюймов (совместимо с нижестоящими моделями)

Управление движением

Ручное управление (X/Y)

Вращение (RZ)

Электрическое управление (X/Y)

Вращение (RZ)

Полностью автоматическое точное позиционирование и транспортировка

Функциональные возможности программного обеспечения

Измерение рельефа поверхности, включая ступени и шероховатость

Измерение рельефа поверхности, включая ступени и шероховатость

Измерение напряжений и 3D‑сканирование и визуализация

Обработка данных: измерение уступов, шероховатости, ровности и прогиба

Тестирование на напряжение и передача данных 3D‑сканирования: интерфейс связи SECS

 

Примеры применения

Высокотехнологичные решения премиум‑класса отвечают всем вашим требованиям.

▲ Измерение глубины желоба

▲ Измерение ступеней

▲ Измерение фоторезиста

▲ Измерение толщины пленки

Начните путешествие в мир микро- и нанолитографии

Компания «ZEPTOOLS» самостоятельно разработала и предлагает комплексное решение для микро‑ и наноанализа.

Рекомендуемые товары

Получить последнюю версию справочника

Наш сотрудник свяжется с вами в течение 24 часов (в рабочие дни). Если вам потребуются дополнительные услуги, пожалуйста, позвоните по телефону службы поддержки: 400-966-2800
Ocтaвить зaявky