Нанозондовый стол для СЭМ

Высокое разрешение, компактные размеры и большой диапазон перемещения

Продукт — нанозондовый стол для СЭМ — обеспечивает точное позиционирование в трёхмерном пространстве. Он обладает высоким разрешением, компактными габаритами, большим ходом, простотой эксплуатации и совместимостью с вакуумом, что позволяет выполнять в вакуумной камере СЭМ различные операции с наноразрешением. В основе работы нанозондового стола лежит привод на пьезо‑керамике; смазка не требуется, устройство полностью совместимо с вакуумом и способно функционировать в широком диапазоне температур. Разрешение перемещений достигает нанометрового уровня. Работает в двух режимах — шаговом и сканирующем, обеспечивая позиционирование с субнанометровым разрешением в пределах макроскопического хода. Трёхосный зондовый стол состоит из трёх одновальных движущих платформ; в одной вакуумной камере СЭМ можно установить несколько таких систем.

Принадлежность к категории:

Консультация:

Описание продукта

Нанозондовая платформа SEM обеспечивает точное позиционирование в трёхмерном пространстве и обладает такими преимуществами, как компактные габариты при большом ходе, высокая точность и удобство эксплуатации; одновременно она совместима с режимом высокого вакуума и является важным дополнительным устройством для проведения in situ‑исследований на сканирующем электронном микроскопе. В зависимости от конкретных экспериментальных задач электрические зонды могут быть заменены на оптоволоконные зонды, нано‑пинцеты, микроскопические шприцы и другие типы манипуляторов и измерительных головок.


• Описание продукта

Трёхосный зондирующий стол состоит из трёх однокоординатных подвижных столов. В одной камере СЭМ можно установить несколько таких столов. На платформе могут монтироваться электрические зонды, оптоволоконные зонды, нанопинцеты, алмазные нано‑прессовые наконечники, микроскопические шприцы и другие типы манипуляционных и измерительных головок, что позволяет осуществлять микро‑ и наноманипуляции и измерения.

Стандартная комплектация включает: корпус зонда, основание, совместимое с СЭМ/ФИБ, вакуумный фланец, контроллер зонда и ручку управления.

Опционально: низкотемпературный и высокотемпературный образцетвердители, оптоволоконные зажимы и вакуумные проходные устройства для оптоволокна, комплект EBIC


• Особенности продукта

▲ Компактная конструкция, высокая жёсткость

▲ Бесзазорная направляющая система с высокоточными гибкими шарнирами

▲ Пьезоэлектрическая керамическая платформа перемещения обладает сверхдлительным сроком службы.

▲ Внутри по необходимости можно добавить обратную связь о положении.

▲ Применение: манипуляция наноматериалами, измерение электрических и оптоэлектронных свойств наноустройств, манипуляция с ДНК в биологических клетках и др.

▲ Совместимость с СЭМ: JEOL, Hitachi, FEI, TESCAN и др.


• Основные параметры

Размерные параметры трёхосного зондирующего стола

Габаритные размеры одного зонда (длина × ширина × высота)

48,6 мм × 33,2 мм × 43,6 мм

Плоскостность поверхности образцового стола

10 мкм

Общий вес зонда‑стенда

225g

Кинематические параметры трёхосного зондирующего стола

Ход по трём осям XYZ

±10 мм

Максимальная скорость движения

3mm/s

Тонкая настройка разрешения

0.5nm

 


• Примеры применения

Рекомендуемые товары

Получить последнюю версию справочника

Наш сотрудник свяжется с вами в течение 24 часов (в рабочие дни). Если вам потребуются дополнительные услуги, пожалуйста, позвоните по телефону службы поддержки: 400-966-2800
Ocтaвить зaявky