Категория товаров
Система модификации плазмой
Трехтемпературная трубчатая печь
Система плазменной модификации, использующая специально разработанную компанией Zeyou трёхзонную трубчатую печь, позволила с помощью кислород‑ассистированного химического осаждения из газовой фазы вырастить на сапфировой подложке крупногабаритные высококачественные однослойные пленки дисульфида молибдена. Введение кислорода в процессе роста не только эффективно предотвращает отравление источником триоксида молибдена и снижает плотность зародышевого образования, но и уменьшает плотность вакансий серы, что обеспечивает получение крупногабаритных монокристаллических однослойных пленок дисульфида молибдена.
Принадлежность к категории:
Описание продукта
Система плазменной модификации, использующая специально разработанную компанией Zeyou трёхзонную трубчатую печь, позволила с помощью технологии химического осаждения из газовой фазы при поддержке кислорода вырастить на сапфировой подложке крупногабаритные высококачественные однослойные пленки дисульфида молибдена. Введение кислорода в процессе роста не только эффективно предотвращает отравление источником триоксида молибдена и снижает плотность зародышевого образования, но и уменьшает плотность дефектов — вакансий серы, что обеспечивает получение крупногабаритных монокристаллических однослойных пленок дисульфида молибдена.
С использованием системы плазменной модификации, при условии самолимитирующегося роста, на данный момент удалось осуществить эпитаксиальный рост однослойного дисульфида молибдена высокого качества на двухдюймовых пластинках (100% степень покрытия, равномерное формирование пленки). Благодаря усовершенствованию оборудования для переноса удалось добиться беззагрязнённого и не повреждающего подложку трансфера пленок в масштабе пластин. Однослойная пленка дисульфида молибдена равномерно покрывает всю сапфировую подложку, не имея зазоров и перекрывающих слоёв. Формируемая пленка состоит из зерен размером 1 микрон, соединённых между собой по границам зерен с относительным ориентированием 60º. В образованной пленке присутствуют только границы зерен с углом 60º.
• Преимущества системы плазменной модификации
△ Эффективно предотвращает отравление твёрдыми источниками;
△ Хорошая равномерность образовавшейся плёнки;
△ Большая площадь образуемой плёнки;
△ Быстрота и контролируемая скорость роста. 
Рекомендуемые товары
Получить последнюю версию справочника
Свяжитесь с нами
Телефон:15756003283
Электронная почта:support@zeptools.com
Адрес: провинция Аньхой, город Тунлинь, Электронный парк предпринимательства «Дунши», д. 15