Новости и информация

ИНФОРМАЦИЯ О НОВОСТЯХ

Цзэюй Технологии | Вызовы, стоящие перед отечественной технологией коррекции эффекта близости в EBL

ЭБЛ, благодаря своим преимуществам — короткой длине волны электронов и отсутствию ограничений, связанных с дифракцией, — обладает более высоким теоретическим пределом разрешения по сравнению с оптической литографией и широко применяется в таких областях, как изготовление масок и разработка и производство малосерийных устройств. Однако, в отличие от оптической литографии, из‑за того, что электронный пучок подвергается предварительному рассеянию в резисте и одновременно взаимодействует с материалом подложки, вызывая обратное рассеяние, область воздействия пучка выходит за пределы первоначально заданной зоны, что приводит к снижению разрешения рисунка и появлению аномалий в размерах и морфологии; это явление широко известно среди исследователей как эффект соседства.

28

2025

/

08

Сможет ли настольный СЭМ‑прибор компании «ZEPTOOLS» удовлетворить потребности заводов в онлайн‑контроле качества?

В условиях глобальной трансформации и модернизации производственного сектора онлайн‑контроль качества превратился в ключевой элемент, обеспечивающий повышение производительности и гарантию высокого качества продукции. Традиционное контрольное оборудование, характеризующееся крупными габаритами, сложностью эксплуатации и строгими требованиями к условиям окружающей среды, вряд ли способно удовлетворить потребности современных заводов в высокоточной проверке. Компания Zeyou Technology, опираясь на самостоятельно разработанные настольные сканирующие электронные микроскопы серии ZEM, благодаря своим преимуществам — компактным размерам, нанометровой точности и полному охвату всего технологического цикла — предлагает заводам эффективные, гибкие и экономичные решения для онлайн‑контроля качества.

19

2025

/

08

< 1...678...55 >