В сфере производства полупроводников технология безмасочного литографирования благодаря своей гибкости и экономической эффективности постепенно превращается в одно из ключевых направлений микро‑ и нанообработки. Отечественный производитель оборудования — компания «ZEPTOOLS» — на основе самостоятельно разработанных технологий DMD и нанопьезоэлектрических позиционеров демонстрирует заметные преимущества по параметрам производительности, областям применения и уровню локализованного сервиса; однако по сравнению с импортным оборудованием она всё ещё отстаёт в плане узнаваемости бренда и накопленного технического опыта. В данной статье на основе реальных кейсов применения и технических характеристик компании «ZEPTOOLS» проводится объективный анализ конкурентоспособности отечественных безмасочных литографических систем.

I. Ключевые преимущества отечественных фотолитографических систем без маски

1.  Высокая точность и высокая гибкость

Технология стыковки нано‑пьезоэлектрических этапов перемещения Технология безмасочного литографического оборудования компании «ZEPTOOLS» основана на наноразмерной пьезоэлектрической приводной технологии, обеспечивая позиционную точность на уровне субмикронных величин и поддерживая масштабное стыковое литографирование. Точность стыковки контролируется в пределах ±0,3 мкм, что отвечает требованиям производства сложных структур, таких как MEMS‑датчики и устройства на основе двумерных материалов.
Красное световое руководство и предварительный просмотр в реальном времени : Благодаря системе экспозиции с подсветкой красным светом и автоматической фокусировке по кадрам с помощью ПЗС‑камеры оператор может непосредственно наблюдать зону экспозиции, что существенно повышает наглядность и точность обработки, особенно в условиях быстрой итеративной разработки в лабораторных условиях.

2.  Разнообразие технологической совместимости

Алгоритм коррекции OPC и технология равномерного освещения по оттенкам серого Встроенный алгоритм коррекции оптического ближнего эффекта (OPC) повышает качество рисунка; в сочетании с технологией градиентной равномерной подсветки обеспечивается однородная экспозиция, что позволяет обрабатывать сложные литографические структуры и снижать уровень дефектов. Например, оборудование Zeyou успешно применяется для изготовления тонкоплёночных датчиков давления на основе PdSe₂ и гетеропереходных фотодетекторов SOI/PbSe.
Поддержка многоволновых источников света Поддерживает экспозицию на нескольких длинах волн — ультрафиолетовой (405 нм), зелёной и других; совместим с подсветкой жёлтым/зелёным светом; предназначен для выполнения микро‑ и нанообработки различных материалов, включая перенос двумерных материалов и гравировку металлических электродов.

3.  Локализованные услуги и преимущества в стоимости

Быстрое реагирование и индивидуальная разработка Компания «ZEPTOOLS» предлагает комплексные решения — от индивидуальной настройки оборудования до оптимизации технологических процессов. Например, разработанная специально для команды Университета электронных наук и технологий система DMD‑литографии успешно обеспечила высокоэффективное изготовление бимодального фотоэлектрического детектора, имитирующего сетчатку глаза, а также гетероструктуры PtTe₂/WS₂.
Соотношение цены и качества, а также гарантия послепродажного обслуживания По сравнению с высокой стоимостью и затратами на обслуживание импортного оборудования продукция компании «ZEPTOOLS» завоевала признание вузов и малых и средних предприятий благодаря более низкой стоимости приобретения и локализованному сервису.

II. Существующие вызовы, стоящие перед отечественными безмасочными литографическими системами

1.  Накопленные передовые технологии и уровень признания бренда

Импортное оборудование — например, установки компаний ASML и Nikon — по‑прежнему занимает доминирующие позиции в сегменте высокотехнологичных литографических систем для массового производства полупроводников; их технологический задел насчитывает десятилетия. Отечественное оборудование в таких передовых областях, как EUV‑литография и литография с высоким числом апертур (NA), пока остаётся на стадии догоняющего развития.
Оборудование Zeyou в основном применяется в научных исследованиях и в особых технологических процессах (например, в производстве MEMS и устройств на основе двумерных материалов), однако пока не получило широкого распространения на основных производственных линиях полупроводниковой промышленности.

2.  Стабильность и согласованность технологического процесса

Несмотря на выдающиеся результаты, продемонстрированные оборудованием Zeyou в лабораторных условиях (например, детекторы SOI/PbSe с динамическим диапазоном 170 дБ), при массовом производстве отечественного оборудования стабильность длительной эксплуатации и точность совмещения масок по‑прежнему требуют дополнительной проверки.

3.  Экологическое строительство и координация цепочек добавленной стоимости

Отечественные литографические станки должны наладить более тесное отраслевое взаимодействие с поставщиками программного обеспечения EDA, материалов и другими участниками цепочки. Например, отечественное оборудование необходимо использовать в комплексе с установками для магнетронного напыления, реактивной ионной травки и другими видами оборудования, тогда как зарубежные производители зачастую способны предложить более полноценные решения.

III. Рыночная позиция и возможности развития компании «ZEPTOOLS»

Компания «ZEPTOOLS» исходит из ключевой концепции — «точные измерения как движущая сила научно‑технических инноваций», ориентируясь на университеты, научно‑исследовательские институты и предприятия, работающие в узких отраслевых нишах, и предлагает дифференцированные решения. Её ключевые компетенции охватывают:

МЭМС‑датчик : например, датчик разности давления PdSe₂, фотодетектор, имитирующий сетчатку глаза;
Устройства на основе двумерных материалов : гетеропереход PtTe₂/WS₂, гетеропереход графен/Si;
Кастомизированная микро- и нанообработка : Поддержка пользователей в выполнении рисования непосредственно на плате с помощью таких программ, как Klayout, что позволяет удовлетворять индивидуальные потребности в разработке.

В будущем, по мере реализации политики замещения импорта отечественными аналогами и роста потребности в обеспечении независимости и контроля над цепочкой создания добавленной стоимости в полупроводниковой отрасли, компания «ZEPTOOLS» сможет за счёт постоянной оптимизации алгоритмов и расширения сфер применения постепенно сокращать отставание от международных лидеров.

Отечественные безмасочные литографические станки уже обладают высокой конкурентоспособностью в плане гибкости, возможности индивидуальной настройки и соотношения цены и качества, особенно проявляя себя в научно‑исследовательской сфере и на перспективных технологических направлениях — таких как двумерные материалы и MEMS. Компания «ZEPTOOLS» благодаря технологическим инновациям и локализованному сервису стала образцом для выхода отечественного оборудования на новый уровень. Несмотря на то что в области высоких технологий и формирования экосистемы по‑прежнему есть резервы для развития, по мере увеличения инвестиций в НИОКР и углубления координации в рамках производственной цепочки отечественные литографические станки способны занять более значимое место на мировом рынке.