При измерении толщины тонкой плёнки с помощью ступенчатого прибора, каким образом формируется ступенька?
время：
2023-11-24
автор：
Ступенчатый прибор в основном используется для точного измерения толщины тонких плёнок и покрытий. В процессе измерения ， Существуют следующие способы формирования ступеней: :
1. Подготовка ступеней методом экранирования
На образце с помощью небольшого куска материала затемняется часть области. ， Затем осуществляется осаждение тонкой пленки. После удаления маскирующей структуры формируются ступени пленки разной высоты.
2. Ступени образуются путём царапания или полирования.
Сначала готовят однородные тонкоплёночные образцы. ， Затем с помощью алмазного стержня и других физических методов соскребают локальную тонкую плёнку. ， Обнажается основание, образуя перепад высот ступеней.
3. Формирование ступеней с использованием фотолитографии
С помощью литографического процесса сначала на образце наносится слой фоторезиста, после чего осуществляется экспонирование и закрепление его формы. ， Затем с помощью проявляющего раствора разъедается и удаляется часть слоя фоторезиста. ， В завершение осуществляется полное напыление тонкой пленки, в результате чего формируется ступенчатая структура.
4. Формирование с использованием ионного пучка
С помощью технологии фокусированного ионного пучка можно непосредственно обстреливать и удалять локальные участки тонкоплёночных материалов. ， Быстро и точно получить ступенчатую структуру.
После подготовки тонкоплёночных ступеней с высокой степенью различия ， Таким образом можно использовать ступенчатый прибор Модуль для точного измерения высоты ступени ， Таким образом, можно обратным расчётом определить точную толщину плёнки.
Ступенчатый измеритель компании «ZEPTOOLS»
Всё вышеперечисленное — это Цзэюй Технологии Ознакомление с содержанием представленного вами шагомера, подробнее… Настольный сканирующий электронный микроскоп 、 Система in situ‑измерений TEM 、 Ступенчатый прибор 、 Нано‑пьезо‑столик За подробностями обращайтесь по телефону 15756003283 (номер в WeChat — тот же).
Связанные новости
Свяжитесь с нами сейчас
Высококачественные крепления из нержавеющей стали с заводскими ценами
Свяжитесь с нами
Телефон:15756003283
Электронная почта:support@zeptools.com
Адрес: провинция Аньхой, город Тунлинь, Электронный парк предпринимательства «Дунши», д. 15