Как расстояние между сканирующим электронным микроскопом и образцом влияет на фокусное расстояние?


время:

2023-11-22

Механизм влияния расстояния между сканирующим электронным микроскопом и образцом на фокусное расстояние достаточно сложен. Для его подробного и всестороннего объяснения я рассмотрел вопросы, связанные с физическими принципами, геометрической оптикой и факторами, оказывающими воздействие; основные положения изложены ниже. :

С физической точки зрения в сканирующем электронном микроскопе для зондирования и формирования изображения используется электронный пучок. В соответствии с принципом взаимодействия зарядов между электронной эмиссионной пушкой и образцом, при изменении величины расстояния на порядки меняется степень отклонения траектории падающих электронов, что, в свою очередь, влияет на состояние фокусировки.

Конкретно говоря, при уменьшении рабочего расстояния эффективная глубина резкости электронного пучка после фокусировки линзой сокращается, что требует корректировки потенциала линзы для получения оптимальной плоскости изображения. Это можно понять на основе эквивалентной оптической модели. : Уменьшение расстояния до объекта приводит к сокращению оптического пути формирования изображения, что эквивалентно увеличению расстояния ближней точки фокусировки системы; для получения чёткого изображения необходимо повысить преломляющую способность линз.

Кроме того, изменение межстрочного интервала также влияет на другие параметры. :

1 ) Снижение эффективности детектора ;

2 ) Увеличение дрейфа образца ;  

3 ) Явление зарядки образца усиливается, что ухудшает качество изображения.

Поэтому рабочее расстояние сканирующего электронного микроскопа нельзя изменять произвольно; оно должно поддерживаться в относительно стабильном оптимальном диапазоне, обычно в пределах… 2-15mm Превышение допустимых пределов может привести к ухудшению качества изображения и снижению разрешения. Необходимо обеспечить совмещение оптимальной плоскости формирования изображения системы с поверхностью образца, чтобы получить чёткое поле зрения и достоверную информацию.

Столешный сканирующий электронный микроскоп ZEM18 компании Цэюй Технолоджи

Вот и всё — редактор компании «ZEPTOOLS» рассказал, как расстояние между сканирующим электронным микроскопом и образцом влияет на фокусное расстояние. За дополнительной информацией о продукции и ценах на сканирующие электронные микроскопы обращайтесь по телефону 15756003283 (номер в WeChat совпадает).

Свяжитесь с нами сейчас

Высококачественные крепления из нержавеющей стали с заводскими ценами

Запросить котировку