Какие факторы влияют на разрешение сканирующего электронного микроскопа?
время：
2023-11-16
автор：
На разрешение сканирующего электронного микроскопа влияют следующие факторы:
Диаметр пятна падающего электронного пучка: это параметр, определяющий предел разрешения сканирующего электронного микроскопа; он зависит от типа источника электронов, ускоряющего напряжения, размера диафрагмы, рабочего расстояния и других факторов. Как правило, чем меньше диаметр пятна, тем выше разрешение.
Эффект расширения пучка падающих электронов в образце: он обусловлен тем, что после проникновения в образец электронный пучок подвергается упругому и неупругому рассеянию, вследствие чего объём взаимодействия увеличивается, что приводит к снижению разрешающей способности. Этот эффект зависит от энергии падающего пучка и атомного номера образца; как правило, чем выше энергия падающего пучка и чем меньше атомный номер образца, тем выраженнее проявляется указанный эффект.
Модулирующий сигнал: это тип сигнала, используемый для получения изображения, например вторичные электроны, отражённые электроны, обратно рассеянные электроны и др. Различные виды сигналов обладают различной энергией и глубиной выхода, что влияет на разрешение. Как правило, вторичные электроны и отражённые электроны обеспечивают наивысшее разрешение, тогда как разрешение при использовании обратно рассеянных электронов ниже.
Сферическая аберрация линзы: она обусловлена недостаточной точностью проектирования и изготовления электромагнитной линзы, что приводит к отклонениям в фокусировке и формировании изображения электронным пучком, снижая разрешающую способность. Основными видами аберраций являются сферическая, хроматическая и астигматизм; они зависят от конструкции линзы, параметров намагничивания, ускоряющего напряжения и других факторов. Как правило, сферическая и хроматическая аберрации являются главными факторами, влияющими на разрешающую способность.
Эффект Бёрша: он обусловлен кулоновским отталкиванием между электронами в пучке, что приводит к расширению распределения энергии электронов, увеличению размера пятна пучка и снижению разрешающей способности. Этот эффект зависит от яркости электронного пучка и его тока; как правило, чем выше яркость и больше ток пучка, тем выраженнее проявляется эффект Бёрша.
Выше перечислены факторы, влияющие на разрешение сканирующего электронного микроскопа. За дополнительной информацией о продукции и ценах на образцовые стержни обращайтесь по телефону 15756003283 (номер в WeChat — тот же).
Связанные новости
Свяжитесь с нами сейчас
Высококачественные крепления из нержавеющей стали с заводскими ценами
Свяжитесь с нами
Телефон:15756003283
Электронная почта:support@zeptools.com
Адрес: провинция Аньхой, город Тунлинь, Электронный парк предпринимательства «Дунши», д. 15