Какие области применения имеет ступенчатый измеритель в полупроводниковой отрасли?
время：
2023-11-28
автор：
Ступенчатые измерители в полупроводниковой отрасли имеют следующие основные типовые области применения:
【Измерение толщины диоксидного кремниевого слоя】
В В технологии КМОП нередко требуется на подложке из кремния методом термического окисления вырастить изоляционную пленку диоксида кремния SiO2. Толщина такой оксидной пленки обычно составляет несколько десятков нанометров и оказывает существенное влияние на электрические характеристики последующих устройств. В этих случаях использование стэп‑метра позволяет точно измерять её толщину, что обеспечивает высокое качество технологического процесса.
【Контроль металлических межсоединительных структур】
На завершающей стадии производства микросхем на кремниевые пластины наносят алюминиевое покрытие и выполняют графическую травление, формируя межсоединительные металлические проводники. С помощью ступенчатого профилометра можно быстро сканировать структуру алюминиевого слоя, оценивать качество травления, а также определять соответствие ширины дорожек заданным параметрам и надёжность межслойных соединений.
【Контроль качества химико-механической полировки】
В некоторых технологических этапах требуется полировка поверхности кремниевых пластин; для этого можно использовать ступенчатый профилометр для измерения шероховатости поверхности. Сравнивая полученные данные с проектными параметрами, оценивают соответствие качества полировки установленным стандартам; в противном случае необходимо оптимизировать соответствующий процесс.
【Локализация источников фонового загрязнения】
При появлении заметного загрязнения на поверхности кремниевой пластины можно с помощью ступенчатого профилометра произвести сканирование всей площади пластины; по результатам измерительной кривой оценивают распределение загрязнений и локализуют место источника фонового загрязнения для последующей обработки.
Вот и всё. Цзэюй Технологии Приведённые вами примеры типичного применения ступенчатого измерителя на нескольких ключевых этапах производства полупроводников. Подробнее Настольный сканирующий электронный микроскоп 、 Система in situ‑измерений TEM 、 Ступенчатый прибор 、 Нано‑пьезо‑столик За подробностями обращайтесь по телефону 15756003283 (номер в WeChat — тот же).
Связанные новости
Свяжитесь с нами сейчас
Высококачественные крепления из нержавеющей стали с заводскими ценами
Свяжитесь с нами
Телефон:15756003283
Электронная почта:support@zeptools.com
Адрес: провинция Аньхой, город Тунлинь, Электронный парк предпринимательства «Дунши», д. 15