Ступенчатый измеритель — это распространённый промышленный измерительный прибор, широко используемый в университетах, исследовательских лабораториях и институтах, а также в таких отраслях, как полупроводниковая и композитная полупроводниковая промышленность, производство светодиодов высокой яркости, солнечная энергетика, микроэлектромеханические системы (MEMS), сенсорные экраны, автомобилестроение и медицинское оборудование. Он позволяет осуществлять измерения толщины покрытий и высоты тонких плёнок, а также анализировать поверхностную рельефность, волновые дефекты и шероховатость на микронном и нанометровом уровнях.

Принцип работы

Принцип работы шагомера. Основная функция шагомера — измерение: когда контактный игольчатый щуп скользит по поверхности исследуемого объекта, микроскопические выступы и впадины этой поверхности заставляют иголку одновременно с продольным скольжением совершать небольшие вертикальные колебания. Таким образом, состояние рельефа поверхности в определённой степени отражается характером движения иглы. После прохождения выходного сигнала через измерительный мостовой узел выходной сигнал оказывается прямо пропорциональным смещению иглы относительно её равновесного положения; при этом возникает амплитудно‑модулированный сигнал. После усиления и выпрямления из этого модулированного сигнала производится демодуляция, в результате чего сигнал становится значительно более медленным, что позволяет считывать его на контроллере. Далее шумовой фильтр и фильтр волнового рельефа дополнительно подавляют модулирующую частоту и внешние помехи, что, в свою очередь, снижает влияние погрешностей.

Высокоточный ступенчатый измеритель серии JS компании ZEPTOOLS — это отечественный прибор, разработанный собственными силами. На сегодняшний день он представляет собой первое в стране технологическое решение, которое преодолело ключевые технические барьеры: сверхточное плоскостное сканирование с большим ходом — 70 мм, с точностью лучше 20 нм при перемещении 2 мм; нано‑микропозиционный стол с широкой полосой пропускания и большим ходом — 80 мкм, частота 10 кГц; а также сверхтонкое стабильное управление давлением в диапазоне 0,5–15 мН. Эти достижения позволили сломать монополию зарубежных производителей и сделали данное оборудование незаменимым звеном на пути к импортозамещению в полупроводниковой отрасли.

Типичное применение

1. Применение полупроводников

(1) Высота ступени осаждённой плёнки

(2) Высота ступени резиста (мягкого покрывающего материала)

(3) Определение скорости травления

(4) Химико‑механическое полирование (коррозия, впадины, изгиб)

2. Применение на крупных подложках

(1) Печатная плата (выступы, высота ступеней)

(2) Покрытие окна

(3) Пластина для фотолитографии

(4) Покрытие для держателя пластинки

(5) Полированный лист

3. Стеклянные подложки и применение в дисплеях

(1)AMOLED

(2) Измерение высоты ступеней на жидких кристаллических дисплеях

(3) Измерение толщины плёнки сенсорной панели

(4) Измерение солнечных покрытий на тонких пленках

4. Применение тонких плёнок в гибкой электронике

(1) Органический оптоэлектронный детектор

(2) Органическая тонкоплёночная структура, нанесённая на плёнку и стекло

(3) Медные дорожки сенсорного экрана

Полуавтоматический ступенчатый прибор Zeyou Technology JS100A

Компания «Аньхой Цзэюй Технологии» — это научно‑инструментальная фирма, обладающая полностью самостоятельными правами интеллектуальной собственности. С начала 1990‑х годов, когда была начата разработка электронных микроскопов и сопутствующего оборудования, её исследовательская команда неизменно стремится предоставлять высококачественные приборы для нанонаучных исследований. В настоящее время компания располагает… Пико Фемто Серия Система измерений в режиме in situ с использованием ТЭМ 、 Система измерений СЭМ в нативном состоянии 、 Настольный сканирующий электронный микроскоп серии ZEM 、 Ступенчатый измеритель серии JS 、 Нано‑пьезо‑столик 、 Станок для переноса двумерных материалов 、 Пробоночная платформа и низкотемпературная система 、 Линейка с датчиком линейного перемещения Ряд продуктовых линеек, включая …, привлекли широкое внимание как на внутреннем, так и на международном рынках, заполнив многочисленные пробелы в отечественной сфере научно‑измерительных приборов.