Каков принцип работы EDS (энергодисперсионного анализа) в сканирующем электронном микроскопе?
время:
2023-11-29
автор:
Сканирующий электронный микроскоп (Scanning Electron Microscope, SEM) — это прибор, использующий пучок электронов для наблюдения за микроструктурой поверхности образца. Энергодисперсный рентгеновский анализ (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS) — широко применяемая в сканирующих электронных микроскопах методика, предназначенная для определения элементного состава образца.
Ниже приведён принцип работы EDS в сканирующем электронном микроскопе:
Взаимодействие электронного пучка с образцом: Сканирующий электронный микроскоп осуществляет облучение поверхности образца пучком высокоэнергетических электронов. Эти высокоэнергетические электроны взаимодействуют с атомами образца, в результате чего внутренние электроны атомов возбуждаются или выбиваются, что приводит к испусканию рентгеновских лучей.
Излучение рентгеновских лучей: Когда электронный пучок облучает поверхность образца, атомы образца возбуждаются, и электроны переходят с внутренних уровней на внешние. При заполнении этими внешними электронами возбуждённых вакансий на внутренних уровнях испускаются рентгеновские лучи.
Энергия рентгеновского излучения: Атомные структуры различных элементов различны, поэтому энергия их рентгеновских лучей также является специфической. Путём измерения и анализа спектра энергий рентгеновских лучей можно определить присутствующие в образце элементы.
Спектральный анализ: Система EDS измеряет энергию рентгеновских лучей с помощью детекторов, обладающих высоким энергетическим разрешением. Энергия этих рентгеновских лучей преобразуется в импульсы заряда, которые затем усиливаются и оцифровываются с помощью электронной системы.
Идентификация элемента: Сравнивая полученные рентгеновские спектры энергий с эталонными спектрами известных элементов, можно определить присутствующие в образце элементы и их относительные концентрации.
В целом применение EDS в сканирующей электронной микроскопии позволяет исследователям на микроуровне анализировать элементный состав образцов, предоставляя важную информацию о их составе и структуре.

Столешный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 компании ZEPTOOLS
Всё вышеперечисленное — это Цзэюй Технологии Каков принцип работы EDS (энергодисперсионного анализа) в сканирующем электронном микроскопе? Подробнее Настольный сканирующий электронный микроскоп 、 Система in situ‑измерений TEM 、 Ступенчатый прибор 、 Нано‑пьезо‑столик За подробностями обращайтесь по телефону 15756003283 (номер в WeChat — тот же).
Связанные новости
Свяжитесь с нами сейчас
Высококачественные крепления из нержавеющей стали с заводскими ценами