Ступенчатый профилометр — это высокоточный прибор, предназначенный для измерения микроскопических перепадов высот на поверхности образцов; он широко применяется в материаловедении, полупроводниковой промышленности, нанотехнологиях и других областях. Полуавтоматическая серия ступенчатых профилометров компании «ZEPTOOLS», включающая модели JS100B, JS200B и JS300B, благодаря своим выдающимся эксплуатационным характеристикам и широкой универсальности отвечает потребностям самых разных пользователей. В настоящей статье подробно рассматриваются технические параметры этих приборов и их преимущества в реальных приложениях.

Приспособленность образца

Серия ступенчатых измерителей компании ZEPTOOLS предназначена для однолистовых образцов толщиной менее 10 мм. В частности, модель JS100B подходит для пластин диаметром до 150 мм, JS200B — для пластин до 200 мм, а 300B — для пластин до 300 мм, что обеспечивает гибкость в работе с образцами различных размеров.

Повторяемая погрешность измерения

Погрешность повторных измерений прибора для измерения ступеней контролируется на уровне ≤0,5 нм (при 30‑кратном повторном сканировании стандартного блока размером 1 мкм, соответствующем 1σ), что обеспечивает высокую точность и надёжность в процессе многократных измерений. Это особенно важно для приложений, требующих высокоточных повторных измерений.

Диапазон измерений и разрешение

Максимальный диапазон измерений данной серии ступенчатых профилометров составляет 80 мкм, а вертикальное разрешение достигает 0,05 нм по полной шкале, что позволяет точно измерять даже самые незначительные изменения высоты ступеней и удовлетворять требованиям высокоточных измерений.

Механизм контроля силы

Диапазон приложения силы зондом составляет 0,5–50 мг, при этом система управления силой поддерживает её постоянство, обеспечивая стабильное контактное давление зонда. Такой механизм управления силой гарантирует согласованность и надёжность измерений, предотвращая возникновение погрешностей, обусловленных нестабильностью давления.

Скорость выборки и сканирования

Скорость выборки шагомера достигает 200 Гц, максимальная длина сканирования — 55 мм, а направление сканирования поддерживает движение в обе стороны — влево и вправо. Разрешение сканирования составляет 10 нм, максимальное число измерительных точек — 2 млн; эти параметры обеспечивают высокую эффективность и точность при быстрых измерениях.

Ровность и скорость сканирования

Скорость сканирования варьируется от 5 мкм/с до 50 мкм/с, а степень плоскостности сканирования составляет 20 нм/2 мм, что обеспечивает сохранение ровности поверхности образца в процессе сканирования и не влияет на результаты измерений.

Способ движения образцового стола

Стол образца обеспечивает электрическое управление в горизонтальной плоскости (X/Y) и поворотом (RZ); ходы по осям X и Y составляют 150 мм, 200 мм и 300 мм соответственно; повторяемость позиционирования по осям X и Y — ± 5 мкм; ход по оси Z — 10 мм; угол поворота поворотного стола образца — ± 360° с разрешением 0,1°. Предусмотрены разнообразные режимы перемещения образца, позволяющие удовлетворить различные требования измерений.

Спецификация зонда

Радиус кривизны стандартного зонда превышает 2 мкм, угол — 60° (в базовой комплектации); радиус кривизны субмикронного зонда составляет менее 1 мкм, угол — 60°, что позволяет удовлетворять требованиям измерений на различных уровнях детализации.

Функциональные возможности программного обеспечения

Ступенчатый измеритель компании «ZEPTOOLS» оснащён мощным измерительным программным обеспечением, позволяющим проводить измерения ступеней, шероховатости, плоскостности и кривизны. Программный интерфейс отличается удобством и простотой управления, а также предоставляет широкий набор функций обработки и анализа данных, что значительно упрощает работу пользователей.

Примеры применения

В практическом применении ступенчатые профилометры компании «ZEPTOOLS» уже широко используются в таких областях, как производство полупроводников, исследование материалов и нанотехнологии. Например, в процессе производства полупроводников ступенчатый профилометр позволяет точно измерять высоту ступеней на поверхности пластин, обеспечивая точность и стабильность технологических операций. В рамках исследований материалов он способен анализировать микроструктуру и шероховатость поверхностей, предоставляя важные данные для изучения свойств материалов.

Ступенчатый прибор серии JS компании ZEPTOOLS

Серия ступенчатых профилометров JS100B, JS200B и JS300B компании Цзэюй‑Технолоджи благодаря своим выдающимся техническим характеристикам и эксплуатационным свойствам обладает явным преимуществом в сфере высокоточных измерений. Высокая повторяемость измерений, широкий диапазон измерений, разнообразные режимы перемещения образцовой платформы, а также продвинутые программные функции обеспечивают пользователям получение надёжных результатов в самых различных областях применения. Эти ступенчатые профилометры демонстрируют превосходные показатели не только в научных исследованиях, но и обладают широкими перспективами применения в промышленном производстве и контроле качества. Будь то измерения на микро‑ и наноуровне или необходимость эффективного и быстрого сканирования — ступенчатые профилометры компании Цзэюй‑Технолоджи безусловно удовлетворят ваши требования.