Ступенчатый измеритель — это высокоточный измерительный прибор, широко используемый в таких областях, как материаловедение, микроэлектроника и нанотехнологии. Ступенчатый измеритель JS10B компании «ZEPTOOLS» благодаря своим выдающимся техническим характеристикам и эксплуатационным свойствам занял лидирующие позиции на рынке. В данной статье подробно рассматриваются все технические параметры устройства JS10B и его преимущества в реальных практических применениях.

Приспособленность образца

Ступенчатый измеритель JS10B подходит для образцов толщиной менее 10 мм; размеры пластин могут достигать 150 мм, что позволяет удовлетворить большинство экспериментальных и промышленных требований.

Повторяемая погрешность измерения

Погрешность повторных измерений данного прибора не превышает 0,5 нм (при 30‑кратном повторном сканировании стандартного блока размером 1 мкм, по методу 1σ), что свидетельствует о его высокой точности и надёжности при повторных измерениях.

Диапазон измерений и разрешение

Максимальный диапазон измерений шагомера JS10B составляет 80 мкм, а вертикальное разрешение достигает 0,05 нм по полной шкале, что позволяет с высокой точностью измерять даже самые незначительные изменения высоты ступеней.

Механизм контроля силы

Диапазон приложения силы зондом составляет 0,5–50 мг, при этом контроль силы поддерживается на постоянном уровне, что обеспечивает стабильное контактное давление зонда и гарантирует согласованность результатов измерений.

Скорость выборки и сканирования

Скорость выборки данного прибора достигает 200 Гц, максимальная длина сканирования составляет 55 мм, а направление сканирования поддерживает двунаправленное движение — влево и вправо. Разрешение сканирования равно 10 нм, максимальное число измеренных точек — 2 млн; эти параметры обеспечивают быструю и эффективную работу ступенчатого профилометра.

Ровность и скорость сканирования

Скорость сканирования прибора для измерения ступеней JS10B составляет от 5 мкм/с до 50 мкм/с, а степень плоскостности сканирования — 20 нм/2 мм, что обеспечивает сохранение высокой плоскостности поверхности образца в процессе сканирования.

Способ движения образцового стола

Стол образца обеспечивает ручное управление по осям X и Y (в горизонтальной плоскости) и поворотом вокруг оси RZ. Ход стола X–Y составляет 150 мм, ход стола Z — 10 мм, а диапазон поворота стола вращения образца — ±360°, что позволяет реализовать разнообразные режимы перемещения образца в соответствии с различными требованиями измерений.

Спецификация зонда

Радиус кривизны стандартного зонда превышает 2 мкм, угол — 60° (в базовой комплектации); радиус кривизны субмикронного зонда составляет менее 1 мкм, угол — 60°, что позволяет удовлетворять требованиям измерений на различных уровнях детализации.

Функциональные возможности программного обеспечения

Измерительный программный комплекс, входящий в комплектацию прибора для измерения ступеней, обеспечивает функции измерения высоты ступеней, шероховатости, плоскостности и кривизны, предоставляя всесторонние возможности анализа образцов.

Ступенчатый прибор серии JS компании ZEPTOOLS

Ступенчатый измеритель JS10B компании ZEPTOOLS, благодаря своим выдающимся техническим характеристикам и многофункциональным возможностям измерений, стал идеальным выбором в сфере высокоточных измерений. Высокая повторяемость измерений, широкий диапазон измерений, разнообразные режимы перемещения образцового стола, а также продвинутые программные функции обеспечивают пользователям получение надёжных результатов в самых различных сферах применения. Ступенчатый измеритель JS10B демонстрирует превосходные показатели не только в научных исследованиях, но и обладает широкими перспективами применения в промышленном производстве и контроле качества.