Электронный микроскоп — это прибор, использующий электронный пучок вместо видимого светового пучка для наблюдения и получения изображений; к ним относятся сканирующий электронный микроскоп (SEM), просвечивающий электронный микроскоп (TEM) и просвечивающий сканирующий электронный микроскоп (STEM). Стандарты и методы их исследования различаются и представлены ниже:

1. Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ)

Стандарты испытаний:

- Разрешение: как правило, от нескольких нанометров до нескольких десятков нанометров

- Увеличение: от 20× до примерно 300 000×

- Детекторы: детектор вторичных электронов, детектор обратнорассеянных электронов и др.

Методы испытаний:

- Подготовка образца, как правило, требует проведения электропроводящей обработки.

- В вакуумных условиях с помощью электронного пучка сканируют поверхность образца

- Формирование изображения на основе сигналов вторичных электронов, обратнорассеянных электронов и других сигналов

2. Трансмиссионный электронный микроскоп (ТЭМ)

Стандарты испытаний:

- Разрешение: до 0,1 нанометра

- Ускоряющее напряжение: обычно 100–300 кВ

- Толщина образца: как правило, менее 100 нанометров

Методы испытаний:

- Подготовка сверхтонких образцов

- В вакуумных условиях электронный пучок проходит сквозь образец

- На основе трансмиссионного электронного сигнала формируются изображения в светлом поле, тёмном поле и других режимах.

3. Трансмиссионный сканирующий электронный микроскоп (ТСЭМ)

Стандарты испытаний:

- Диаметр фокусируемого электронного пучка: обычно 0,05–0,3 нанометра

- Детекторы: тёмное поле, кольцевая апертура, HAADF и др.

Методы испытаний:

- Подготовка тонких образцов

- Сканирование образца с помощью фокусированного электронного пучка

- Формирование изображения на основе сигнала рассеянных электронов, например, изображение с Z‑контрастом.

Помимо перечисленных стандартных методов анализа, электронные микроскопы могут также использоваться в сочетании с другими техниками для проведения элементного анализа, анализа кристаллической структуры и т. п., такими как энергодисперсионный рентгеновский анализ (EDX), спектроскопия потерь энергии электронов (EELS), электронная дифракция (ED) и др. В зависимости от цели исследования и объекта необходимо выбирать соответствующий тип электронного микроскопа и оптимальные параметры его работы.

Термостатический сканирующий электронный микроскоп серии ZEM компании ZEPTOOLS

Растровый электронный микроскоп настольного типа серии ZEM компании «ZEPTOOLS» объединяет несколько ключевых технологий, разработанных на основе собственных инноваций, и сочетает превосходное качество изображения с высокой портативностью, удовлетворяя потребности широкого спектра применений. Являясь отечественным высококлассным настольным растровым электронным микроскопом серийного производства, Серия ZEM по таким показателям, как разрешение изображения, удобство эксплуатации и степень интеграции системы, соответствует международному передовому уровню.

Серия продуктов ZEM обладает высокой степенью интеграции, гибкой конфигурацией и удобством эксплуатации; её легко освоить даже непрофессионалам. Сопутствующее программное обеспечение охватывает весь рабочий процесс — от импорта образцов и настройки параметров до анализа изображений — обеспечивая эффективность и удобство в режиме «одного окна». В настоящее время, Серия ZEM уже продемонстрировала мощные аналитические возможности в таких областях, как новые материалы, возобновляемая энергетика, биомедицина и полупроводниковая промышленность, помогая учёным наглядно исследовать тайны микро‑ и наномира. Благодаря выдающемуся соотношению цены и качества устройства серии ZEM стали одним из наиболее популярных выборов среди университетов, научно‑исследовательских институтов и предприятий.