1. Функция 3D‑сканирования: Прибор для измерения ступеней Цзэюй «Ключевое оружие»

▲Технические особенности:

o Сенсор собственной разработки: вертикальное разрешение до 0,05 нм (по всему диапазону измерений), повторяемость — 0,5 нм.

o Интеллектуальная конструкция защиты от столкновений: защита щупа.

o двойной ЛВДТ Уникальная технология, самостоятельно разработанная.

▲Сравнительное преимущество:

По сравнению с импортным оборудованием прибор для измерения ступеней Zeyou обладает явным ценовым преимуществом, а также заметными преимуществами в скорости и качестве сервисного обслуживания.

2. Решения 3D‑сканирования от Цзэюй

▲Принцип работы

Контактное сканирование: Большинство шагомеров используют алмазные или сапфировые контактные иглы, которые перемещаются вдоль поверхности образца; при этом изменение перемещения в вертикальном направлении фиксируется датчиком перемещения, а совместно с прецизионной платформой перемещения по осям X и Y формируется трёхмерная рельефная картина.

▲Основные функциональные особенности

Высокое разрешение:

o Вертикальное разрешение: 0,05 нм.

Разрешение по горизонтали: субмикронного уровня.

Многопараметрическое измерение:

o шероховатость поверхности (Sa, Sq, Ra и др.).

o Высота ступени, толщина плёнки.

o Проверка на наличие поверхностных волн и дефектов.

Режим сканирования:

Линейное сканирование: измерение одной контурной линии (2D).

Сканирование по поверхности: многолинейное склеивание формирует 3D‑модель рельефа.

3. Типичные сценарии применения

o Полупроводниковая отрасль: измерение толщины тонких пленок на пластине и высоты рисунка фоторезиста.

о MEMS/NEMS : Анализ морфологии микроэлектромеханических структур.

o Наука о материалах: оценка шероховатости покрытий и полированных поверхностей.

Биомедицина: контроль свойств поверхностей искусственных суставов и имплантатов.

4. Ключевые параметры 3D‑сканирования

o Диапазон сканирования: ход по осям X и Y и рабочий диапазон по оси Z.

o Скорость сканирования: баланс точности и производительности (обычно довольно низкая — от нескольких минут до нескольких часов).

Плотность данных: чем меньше расстояние между точками, тем выше разрешение, но тем объём данных становится больше.

5. Преимущества и ограничения

▲Преимущества:

Высокая точность, особенно подходит для измерений на микро- и наноуровне.

o Измеряемые прозрачные/отражающие материалы (контактный метод не зависит от оптических свойств).

▲Ограничения:

o Контактный метод может повредить мягкие образцы.

o Скорость сканирования низкая, что делает его непригодным для быстрого массового тестирования (по сравнению с… Интерферометр белого света Или Лазерный сканирующий микроскоп ).

6. Обработка и вывод данных

▲Функциональные возможности программного обеспечения:

3D‑визуализация рельефа (псевдоцветная карта высот).

o анализ сечений, автоматический расчёт высоты ступеней.

Данные можно экспортировать в форматы ASC, CSV и другие, совместимые с MATLAB или Origin для последующей обработки.

7. Рекомендации по выбору модели

▲Соответствие потребностей:

Для сверхточных измерений (например, ступеней атомного уровня) выбирают контактный метод с высоким разрешением.

Для уязвимых образцов выбирают оптический бесконтактный метод.

8. Почему именно «Цзэюй»?

▲Отечественная замена, самостоятельное новаторство;

▲Обслуживание и гарантии:

Круглосуточная техническая поддержка, бесплатное обучение на месте.

o Лизинговая пробная версия: снижает порог входа для малых и средних клиентов.