【Характеризация толщины полупроводников】Применение ступенчатых профилометров серии JS компании «ZEPTOOLS» при определении толщины тонких пленок ферроэлектрических полупроводников на основе Sn‑основных перовскитов


Дата публикации:

2025-01-08

Сегнетоэлектрические полупроводниковые материалы благодаря своей переключаемой спонтанной поляризации и способности к энергонезависимому хранению обладают огромным потенциалом для разработки новых низкопотребляющих электронных устройств и энергонезависимой памяти. Эти материалы позволяют управлять их макроскопическими поляризационными свойствами с помощью внешнего электрического поля, что, в свою очередь, влияет на характеристики переноса носителей заряда. Однако одновременно обеспечить в одном и том же тонкоплёночном материале мощные сегнетоэлектрические свойства и высокие полупроводниковые характеристики — чрезвычайно сложная задача. В последние годы особое внимание привлекают оловянные (Sn‑основные) перовскитные полупроводники, прежде всего благодаря их p‑типовой проводимости, низкой эффективной массе носителей заряда и высокой подвижности. Однако из‑за обычно высокой концентрации носителей заряда внутреннее электрическое поле не может быть эффективно экранировано, что приводит к ослаблению или исчезновению сегнетоэлектрической поляризации, делая наблюдение сильной сегнетоэлектричности в Sn‑основных перовскитах крайне затруднительным.

Сегнетоэлектрические полупроводниковые материалы благодаря своей переключаемой спонтанной поляризации и способности к энергонезависимому хранению обладают огромным потенциалом для разработки новых низкопотребляющих электронных устройств и энергонезависимой памяти. Эти материалы позволяют управлять их макроскопическими поляризационными свойствами с помощью внешнего электрического поля, что, в свою очередь, влияет на характеристики переноса носителей заряда. Однако одновременно обеспечить в одном и том же тонкоплёночном материале мощные сегнетоэлектрические свойства и высокие полупроводниковые характеристики — задача чрезвычайно сложная. В последние годы особое внимание привлекают оловянные (Sn‑основные) перовскитные полупроводники, прежде всего благодаря их p‑типовой проводимости, низкой эффективной массе носителей заряда и высокой подвижности. Однако из‑за обычно высокой концентрации носителей заряда внутреннее электрическое поле в таких материалах не может быть эффективно экранировано, что приводит к ослаблению или исчезновению сегнетоэлектрической поляризации, делая наблюдение сильной сегнетоэлектричности в Sn‑основных перовскитах крайне затруднительным.

В последние годы исследователи активно изучают различные подходы, направленные на то, чтобы одновременно сохранять высокие полупроводниковые свойства и придавать материалам выраженную сегнетоэлектричность. Традиционно сегнетоэлектрические материалы подразделяются по величине запрещённой зоны на диэлектрики (например, Hf0,5Zr0,5O2, BaTiO3) и полупроводники (например, α‑In2Se3, β‑CuGaO2, SnS). Если ширина запрещённой зоны превышает 3 эВ, такой материал обычно считается диэлектриком и применяется в диэлектрических устройствах; тогда как полупроводники с меньшей шириной запрещённой зоны, благодаря дополнительному несменяемому сегнетоэлектрическому полю, обладают повышенной подвижностью носителей заряда и подходят для энергосберегающей электроники и энергонезависимой памяти. Однако создание тонких плёнок, способных одновременно проявлять мощную сегнетоэлектричность и сохранять выдающиеся полупроводниковые характеристики, остаётся актуальной задачей. В частности, для перовскитов на основе олова, хотя они демонстрируют хорошие перспективы в качестве полупроводников, вопрос о том, как обеспечить им стабильную сегнетоэлектричность, до сих пор остаётся ключевым узким местом этой области. Кроме того, по мере увеличения концентрации легирующих примесей сопротивление снижается, а сегнетоэлектрические свойства сохраняются; однако, как только концентрация носителей заряда превышает критический порог, происходит полное экранирование сегнетоэлектрической поляризации, что приводит к утрате основного признака — нарушения сегнетоэлектрической симметрии. Таким образом, поиск метода, позволяющего наделить полупроводниковые материалы на основе олова стабильной сегнетоэлектричностью, имеет решающее значение для продвижения и развития соответствующих электронных устройств.

В ответ на указанные выше проблемы исследовательская группа Фуданьского университета провела углублённое исследование с использованием ступенчатого измерителя серии JS компании ZEPTOOLS. Команда, введя 2‑метилбензимидазол (MBI) в полупроводниковые тонкие пленки на основе олово‑основных перовскитов [(93,3 мольных % (FA0,86Cs0,14)SnI3 и 6,7 мольных % PEA2SnI4)], успешно преобразовала эти пленки в сегнетоэлектрические полупроводниковые пленки. Соответствующие результаты опубликованы в журнале Nature Communications под названием «Emergence of ferroelectricity in Sn-based perovskite semiconductor films by iminazole molecular reconfiguration»; ссылка на оригинальную статью: DOI: 10.1038/s41467-024-55113-0.

Основное содержание данной работы сосредоточено на использовании метода молекулярной реконструкции для введения сильной сегнетоэлектричности в тонкие пленки Sn‑основных перовскитных полупроводников, что позволяет получить материалы, обладающие одновременно превосходными полупроводниковыми свойствами и выраженной сегнетоэлектричностью. Исследовательская группа, введя молекулы 2‑метилбензимидазола (MBI) в Sn‑основные перовскиты — (93,3 мольных % (FA0,86Cs0,14)SnI3 и 6,7 мольных % PEA2SnI4 — — успешно преобразовала эти пленки в сегнетоэлектрические полупроводниковые пленки. Введение молекул MBI не только повысило степень кристаллизации материала, но и, за счёт образования прочных водородных связей, привело к нарушению пространственной симметрии; вследствие этого центры положительного и отрицательного зарядов перестали совмещаться, что, в свою очередь, вызвало сильную сегнетоэлектрическую поляризацию.

Рис. Характеризация материала на основе Sn‑основных перовскитных тонких пленок до и после легирования молекулами MBI

Результаты экспериментов показали, что Sn‑основные перовскитные тонкие пленки с примесью MBI проявляют выраженный пьезоэлектрический отклик и гистерезисную кривую «бабочка», что подтверждает наличие у них устойчивых сегнетоэлектрических свойств. Кроме того, методом спектроскопии вторичной гармонической генерации (SHG) была дополнительно подтверждена нарушение пространственной симметрии. По сравнению с исходной пленкой, пленка, легированная MBI, при испытаниях по циклу поляризация–электрическое поле (P–E) демонстрирует остаточную поляризацию Pr, достигающую 23,2 мкКл/см² — максимальное значение среди всех концентраций MBI, что свидетельствует об её выдающихся сегнетоэлектрических характеристиках.

Рис. PFM‑, SHG‑ и сегнетоэлектрические свойства тонких пленок перовскита на основе Sn‑основы

Для глубокого понимания физических механизмов возникновения сегнетоэлектричности исследовательская группа провела расчёты в рамках теории функционала плотности (DFT) и, совместив их с анализом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS), показала, как после введения молекул MBI образующиеся водородные связи N–H…N между молекулами PEA и MBI вызывают деформацию и поворот молекул PEA, что в конечном счёте приводит к смещению центров положительного и отрицательного зарядов. Такое смещение не только нарушает центральную инверсионную симметрию, но и приводит к расщеплению энергетических зон — эффекту Рашбы, что дополнительно усиливает сегнетоэлектрические свойства.

Рис. Электрические характеристики транзисторов на основе перовскита Sn‑основы

На основе вышеуказанных исследовательских результатов команда разработала полевые транзисторы на основе оловянно‑основных сегнетоэлектрических перовскитных полупроводников (FeFET). Эти транзисторы демонстрируют выраженный сегнетоэлектрический гистерезис; подпороговый наклон (SS) достигает всего 67 мВ/дек, что значительно ниже, чем у традиционных устройств, и близко к теоретическому пределу диффузии. Кроме того, окно памяти транзисторов увеличилось с 0,02 В до 0,85 В, что свидетельствует об улучшенных характеристик памяти. В ходе практических испытаний FeFET способны сохранять поляризацию более 1000 секунд после приложения записывающего напряжения, что подтверждает их потенциал в качестве энергонезависимой памяти. Таким образом, данное исследование не только предлагает эффективную стратегию достижения сегнетоэлектричности в тонких пленках оловянно‑основных перовскитных полупроводников, но и на основе систематического экспериментального и теоретического анализа раскрывает микроскопические механизмы возникновения сегнетоэлектрического эффекта, закладывая прочную основу для разработки новых типов энергоэффективных электронных устройств и энергонезависимой памяти. Эта работа имеет важное значение для продвижения исследований сегнетоэлектрических полупроводниковых материалов и их применения в высокопроизводительных электронных устройствах.

На рисунке ниже — ступенчатый измеритель серии JS компании ZEPTOOLS:

Поделиться в

Вернуться к списку