【Характеризация морфологии и состава полупроводников】Примеры применения электронного микроскопа ZEM18 в области полупроводниковой технологии
Дата публикации:
2024-03-21
Примеры применения в полупроводниковой отрасли
ZEM18 — это высокоразрешающий настольный сканирующий электронный микроскоп, разработанный компанией «ZEPTOOLS» самостоятельно. В области полупроводников они находят широкое применение. Типичные примеры приведены ниже:
【Обнаружение дефектов на пластине】
Использование ZEM18 Прямое изображение поверхности пластин, полученное с помощью электронного микроскопа, позволяет чётко выявлять такие дефекты, как мелкие царапины и загрязнения частицами. По результатам анализа изображений определяется источник дефектов, что позволяет оптимизировать технологический процесс и повысить выход годной продукции.
【Контроль литографического процесса】
Использование ZEM18 Электронная микроскопия позволяет непосредственно в масштабе микрометров визуализировать рельеф боковых стенок слоя фоторезиста и морфологию излома, что помогает оценивать качество литографии и влияние величины экспозиции, а также оптимизировать параметры экспозиции.
【Наблюдение за металлическими межсоединениями】
ZEM18 Высокомагнитное изображение позволяет чётко выявлять дефекты пустот и разрывы вдоль границ проводников в структуре межсоединений микросхем, что способствует корреляционному анализу результатов тестирования электрических параметров и установлению причин снижения выхода годных изделий.
【Контроль поверхности электронных компонентов】
Принять ZEM18 Поверхностное сканирование герметизированных ИС‑чипов позволяет оценить внешнее качество резинового уплотнительного слоя и выводов устройства, а также классифицировать типы неисправностей.
ZEM18 Высокоразрешающий сканирующий электронный микроскоп благодаря своим выдающимся возможностям визуализации делает обнаружение микроструктур и дефектов в полупроводниковых технологических процессах более простым и надёжным, обеспечивая высокое качество продукции.
Контроль паяных соединений
Примеси в пластине
Устройство
Микро- и нанообработка и контроль
Оксид кремния
ЖК‑дисплей, инкрементальная мембрана
Компания «Аньхой Цзэюй Технологии» — это научно‑инструментальная фирма, обладающая полностью самостоятельными правами интеллектуальной собственности. С начала 1990‑х годов, когда компания приступила к разработке электронных микроскопов и сопутствующего оборудования, её исследовательская команда неизменно стремится предоставлять высококачественные приборы для нанонаучных исследований. В настоящее время в компании работают… Пико Фемто Серия Система измерений в режиме in situ с использованием ТЭМ 、 Система измерений СЭМ in situ 、 Настольный сканирующий электронный микроскоп серии ZEM 、 Ступенчатый измеритель серии JS 、 Нано‑представительное устройство 、 Станок для переноса двумерных материалов 、 Пробоночная платформа и низкотемпературная система 、 Линейка с датчиком линейного перемещения Ряд продуктовых линеек, включая …, пользуются широким признанием как на внутреннем, так и на международном рынках, заполняя многочисленные пробелы в отечественной сфере научно‑измерительных приборов.
Связанные новости
Свяжитесь с нами
Телефон:15756003283
Электронная почта:support@zeptools.com
Адрес: провинция Аньхой, город Тунлинь, Электронный парк предпринимательства «Дунши», д. 15