По мере стремительного развития полупроводниковой отрасли Китая возрастают требования к характеристике и контролю качества микроструктур на подложках и в чипах. Сканирующий электронный микроскоп ZEM20, разработанный компанией Zeyou Technology, благодаря своему выдающемуся разрешению изображения и широкому спектру режимов регистрации сигналов стал идеальным инструментом для анализа микрорельефа и выявления дефектов в полупроводниковой промышленности.

В данной работе на основе настольного сканирующего электронного микроскопа ZEM20 проведена визуализация и характеристика поверхности промышленных кремниевых пластин и выводов микросхем. Результаты показывают, что… Настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 позволяет чётко визуализировать загрязнения и царапины на поверхности кремниевой пластины, а также выявлять мелкие трещины в зонах соединения выводов микросхемы. , обеспечивая надёжную техническую поддержку для контроля качества полупроводниковых приборов и оптимизации технологических процессов.

Кремниевые пластины, используемые в качестве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов, по качеству своей поверхности напрямую влияют на выход годных изделий на последующих технологических стадиях. В данном эксперименте объектом исследования стали кремниевые пластины после фотолитографии; их поверхность состоит из двух основных участков — блестящей и ребристой. По результатам анализа установлено, что на блестящей поверхности присутствуют рассредоточенно распределённые частицы загрязнений, основным компонентом которых являются соединения кремния; тогда как на ребристой поверхности обнаружено значительное количество царапин, имеющих определённую направленность.

Вышеприведённые результаты свидетельствуют о наличии на поверхности кремниевых пластин определённых механических повреждений и загрязнений, что, вероятно, обусловлено недостаточно качественной реализацией процесса резки и последующей обработки. Кроме того, они подтверждают, что настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 способен эффективно выявлять мелкие дефекты на поверхности кремниевых пластин, что служит основой для оптимизации технологических процессов и повышения качества продукции.

Выводные провода, являясь ключевой структурой, обеспечивающей соединение микросхемы с внешней цепью, напрямую влияют на срок службы устройства. В данном эксперименте для характеристики выбранаEPROM‑память; основное внимание уделено целостности зоны соединения выводных проводов с микросхемой. Изображения, полученные на ZEM20, позволяют чётко выявить трещины в границах соединительной зоны, не сопровождающиеся их слиянием; подобное повреждение структуры может быть обусловлено чрезмерным напряжением при сварке проводов.

Схема распиновки микросхемы

Из этого видно, что настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 позволяет чётко выявлять ключевые дефекты структуры в микрорегионах микросхем EPROM. Благодаря высокому разрешению электронной визуализации и разнообразию режимов детектирования он является идеальным инструментом для контроля качества различных типов микросхем, обеспечивая надёжную поддержку повышения выхода годных изделий и ускорения серийного производства.

В целом, настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 компании «ZEPTOOLS» позволяет непосредственно визуализировать шероховатость и царапины на поверхности кремниевых пластин, чётко отображая ключевые структуры в микрорегионах чипов; это мощный инструмент для морфологического анализа и контроля качества полупроводниковых материалов и приборов, который может широко применяться в научных исследованиях и производственных процессах микроэлектронной отрасли, обеспечивая надёжную основу для достижения независимости и контролируемости отечественного полупроводникового оборудования.

Компания «Аньхой Цзэюй Технологии» — это научно‑инструментальная фирма, обладающая полностью самостоятельными правами интеллектуальной собственности. С начала 1990‑х годов, когда была начата разработка электронных микроскопов и сопутствующего оборудования, её исследовательская команда неизменно стремится предоставлять высококачественные приборы для нанонаучных исследований. В настоящее время компания располагает в том числе… Пико Фемто Серия Система измерений в режиме in situ с использованием ТЭМ 、 Система измерений СЭМ в нативном состоянии 、 Настольный сканирующий электронный микроскоп серии ZEM 、 Ступенчатый измеритель серии JS 、 Нано‑пьезо‑столик 、 Станок для переноса двумерных материалов 、 Пробоночная платформа и низкотемпературная система 、 Линейка с дифракционной решёткой Ряд продуктовых линеек, включая …, пользуется широким признанием как на внутреннем, так и на международном рынках, заполняя многочисленные пробелы в отечественной сфере научно‑измерительных приборов.