Низковакуумный сканирующий электронный микроскоп является важной ветвью в области микроскопических технологий; по сравнению с традиционным сканирующим электронным микроскопом высокого вакуума, Низковакуумная электронная микроскопия позволяет проводить прямое наблюдение образцов, содержащих воду, обладающих пористой структурой, чувствительных к повреждениям электронным пучком и непригодных для сапфирового покрытия, при этом обеспечивая более высокую эффективность; в отношении биологических образцов низковакуумная электронная микроскопия обладает преимуществом перед высоковакуумной. Это открывает возможности для наблюдения более широких образцов и значительно расширяет область применения сканирующей электронной микроскопии.

Суть этого заключается в том, что традиционные сканирующие электронные микроскопы с высоким вакуумом требуют, чтобы образец находился в условиях высокого вакуума для получения изображения, тогда как многие образцы при таких условиях могут повреждаться или проявлять выраженный эффект зарядки. В образцовой камере низковакуумного сканирующего электронного микроскопа за счёт подачи определённого количества газа уровень вакуума снижается до примерно 30 Па, то есть до состояния низкого вакуума (при этом высокий вакуум составляет 10… ^-4   Pa), при этом избыточные электроны на образце нейтрализуются ионами газа, что предотвращает накопление заряда и обеспечивает чёткое изображение.

Компания «ZEPTOOLS», будучи одним из пионеров в области настольных сканирующих электронных микроскопов в Китае, Новейший настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM20, оснащённый разработанной собственными силами технологией изображения при низком вакууме и специальной образцовой камерой, позволяет осуществлять сканирование с высоким разрешением в условиях низкого вакуума и получать чёткие изображения. 。

Ниже представлены несколько пар сравнительных изображений: высокий вакуум (справа) и низкий вакуум (слева).

Для образцов, которые трудно визуализировать в условиях высокого вакуума, технология низкого вакуума прибора ZEM20 демонстрирует несравненные преимущества. Например, биологические ткани с высоким содержанием воды обычно крайне сложно изображать в условиях высокого вакуума, при этом их структура легко повреждается. В то же время в камере для образцов при низком вакууме устройства ZEM20 удается хорошо сохранить первоначальное состояние таких образцов, обеспечивая четкое отображение микроструктуры тканей и клеток. Кроме того, условия низкого вакуума позволяют эффективно подавлять или предотвращать загрязнение поверхности некоторых образцов.

В целом, настольный сканирующий электронный микроскоп ZEM‑20, оснащённый технологией низковакуумного изображения, предоставляет прямые и эффективные средства характеризации самых разнообразных образцов, которые трудно исследовать в условиях высокого вакуума, существенно расширяя область применения сканирующей электронной микроскопии и, в частности, делая возможным анализ биомедицинских образцов. Эта технология открывает новые перспективы для исследований материалов и наук о жизни; следует полагать, что по мере дальнейшего совершенствования методов низковакуумной сканирующей электронной микроскопии её применение будет лишь расширяться.

Столешный сканирующий электронный микроскоп ZEM20 компании ZEPTOOLS